咸宁学生服务

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        HCSH系列

        功能性薄膜

        涂層設備

        Functional film coating equipment
        真空應用解決方案提供商
        首頁 > 功能設備 > 功能性薄膜涂層設備
        Functional film coating equipment 功能性薄膜涂層設備

              匯成在PMA I 專利技術的基礎上,開發出PMA II 和EFC專利技術,并成功的將PMA II 和EFC技術集成到新一代涂層系統上。該系統具有靈活的配置,可以與ARC、MS、HIPIMS等技術組合使用,為新涂層,新材料的開發提供更多的可能性,為刀具涂層、模具涂層、零部件涂層、DLC涂層、GLC涂層、ta-c涂層等提供完整的涂層方案。

              廣泛應用于科研、半導體、工具、刀具、模具、零部件、醫療器械、光學、新能源等行業??慑冎艫lTiN、TiAlN、AlTiXN、AlCrN、AlCrXN、TiSiN、CrN、TiN等氮化物涂層,Ta-c、類石墨、Cr+a-c、Cr+a-c:H、W+a-c、W+a-c:H等碳基,Cr+a-c:H、CrN+a-c:H等PECVD涂層。

              匯成真空提供最先進的PVD、PACVD等功能性涂層的廣泛產品組合技術設備,用于適應各種加工要求和工件材料的高速鋼和硬質合金工件。

              匯成真空涂層節省了總體加工成本,因為它們允許更高的切削速度、進料和由于延長使用壽命而減少的更換工具的時間。涂層的低摩擦性能和硬度允許減少潤滑和冷卻,建立可預見的磨損,保證加工零件的表面質量更好。

        高性能涂層:
              高性能涂層是專門設計用于對堅韌和粗糙的工件材料進行高速、大進料加工的工具,工況高熱和高機械負荷,最小或低潤滑和冷卻。

        涂層價值:
              匯成真空的眾多特殊用途的涂層加工在HSS和硬質合金工件上,是切削金屬、塑料、復合材料和包括木材等其他材料的重要部件。它們提供高效率,延長工件使用壽命,并降低總體成本。

        Product Advantage.

        產品優勢
        HCSH系列功能性薄膜涂層設備包括以下關鍵功能:
        • 結構緊湊

          占地面積小,易于集成到工廠

        • 成本低

          單件鍍膜成本低

        • 簡單

          易于操作維護

        • 模塊化

          多種工藝技術靈活組合

        • 低溫

          低溫工藝適合金屬和塑料部件

        • 監控

          本地或遠程監控鍍膜過程

        型號 HCSH-400
        有效等離子區域 D400×H450mm
        最高工作溫度 550℃
        技術特點 PMAⅡ
        EFC
        AEG
        HIPIMS
        預處理 ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS
        陰極 D120 / D160 / W125
        真空條件 極限真空≤5×10-4Pa
        工作真空≤5×10-3Pa
        工藝周期 關門到開門4~5h
        TiN:2~2.5um
        TiAlN:2~2.5um
        TiSiN:2~3.5um
        設備配置 磁懸浮分子泵
        脈沖偏壓電源
        PC智能控制系統
        標準轉架 D140×4軸
        最大裝載量 200KG
        備注 選用濺射(UBM,RF等)有效高度會適當減小
        在線服務支持系統
        型號 HCSH-650
        有效等離子區域 D650×H750mm
        最高工作溫度 550℃
        技術特點 PMAⅡ
        EFC
        AEG
        HIPIMS
        預處理 ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS
        陰極 D120 / D160 / W125
        真空條件 極限真空≤5×10-4Pa
        工作真空≤5×10-3Pa
        工藝周期 關門到開門5~8h
        TiN:2~2.5um
        TiAlN:2~2.5um
        TiSiN:2~3.5um
        設備配置 磁懸浮分子泵
        脈沖偏壓電源
        PC智能控制系統
        標準轉架 D140×8軸
        最大裝載量 500KG
        備注 選用濺射(UBM,RF等)有效高度會適當減小
        在線服務支持系統
        型號 HCSH-900
        有效等離子區域 D900×H1200mm
        最高工作溫度 550℃
        技術特點 PMAⅡ
        EFC
        AEG
        HIPIMS
        預處理 ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS
        陰極 D120 / D160 / W125
        真空條件 極限真空≤5×10-4Pa
        工作真空≤5×10-3Pa
        工藝周期 關門到開門7~10h
        TiN:2~2.5um
        TiAlN:2~2.5um
        TiSiN:2~3.5um
        設備配置 磁懸浮分子泵×2
        脈沖偏壓電源
        PC智能控制系統
        標準轉架 D140×12軸
        最大裝載量 500KG
        備注 選用濺射(UBM,RF等)有效高度會適當減小
        在線服務支持系統
        型號 HCSH-1800
        有效等離子區域 D900×H1500mm
        最高工作溫度 550℃
        技術特點 PMAⅡ
        EFC
        AEG
        HIPIMS
        預處理 ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS
        陰極 D120 / D160 / W125
        真空條件 極限真空≤5×10-4Pa
        工作真空≤5×10-3Pa
        工藝周期 關門到開門7~10h
        TiN:2~2.5um
        TiAlN:2~2.5um
        TiSiN:2~3.5um
        設備配置 磁懸浮分子泵×2
        脈沖偏壓電源
        PC智能控制系統
        標準轉架 D140×12軸
        最大裝載量 500KG
        備注 選用濺射(UBM,RF等)有效高度會適當減小
        在線服務支持系統

        Application cases.

        應用案例
        您想要了解更多嗎?

        電話:13316689188

        郵箱:office@hcvac.com

        咸宁学生服务
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