pvd鍍膜機由許多不同的零件組成,它們都是經過各種機械加工完成的,例如車銑、刨、磨、鏜、焊接等。這樣,零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發,影響真空鍍膜設備的極限壓力和性能穩定性。
此外,污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體,在真空環境中,這些氣體也要被釋放出來,構成了限制真空鍍膜設備極限壓力的因素。為此,零件組裝前必須清除掉污染物。此外,真空鍍膜設備在使用過程中,零件還會受到污染。這種污染與使用條件及真空泵有關。例如:pvd鍍膜機的內壁會被蒸鍍材料污染;真空鍍膜設備真空抽氣機組的機械泵油更是污染源,設備長期工作后會使設備內部形成明顯的油膜。這些污染同樣會影響設備的性能,應注意隨時清除。好的清潔處理工藝,可以提高設備的極限壓力超高真空系統真空室材料多為不銹鋼,對不銹鋼的清洗極為重要。
清洗
pvd鍍膜機污染物，顯得格外重要，也直接關系到后續鍍膜的質量，在pvd鍍膜機的研制過程中,只有嚴格地清潔處理好各個零部件后,才能保證該設備的性能穩定。只有先進的真空鍍膜設備才能生產出合格的鍍膜產品。先進的pvd鍍膜機必須安裝在符合鍍膜真空工藝的環境要求的實驗場所,才能保證鍍膜生產工藝的進行。在鍍膜生產工藝中,基片表面潔凈直接決定了鍍膜前處理工藝過程及對基片進行清洗處理的配方,因此它決定了是否能生產出合格的鍵膜產品。
