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        真空鍍膜設備真空計的分類及應用

        2020-07-15

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               真空鍍膜機有一個部件叫真空計,對行業不是很了解的人員是很少聽說過它,更不知道它的分類和應用,那么它的分類和應用,包括它的原理到底是怎樣的呢?下面匯成真空小編為大家詳細介紹一下:


        真空鍍膜機


               在真空鍍膜設備真空裝置自動控制中,往往要進行真空測量,由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同,因此,從105Pa—10-5Pa各真空區域的真空測量塢會遇到。通常使用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。一個配置齊全的真空計,不僅能進行真空度測量、數字顯示、量程自動切換、誤差自動修正,而且能在壓力設定點發出控制信號去進行壓力控制,按設定壓力值進行壓力自動調節,還能將測量值打印記錄,并與上位機進行通信聯系,甚至還能進行遠距離真空測量與控制。
               壓力控制儀通常由真空測量單元(真空計)、壓力自動調節電路和真空調節閥組成,它是集真空測量與壓力調節于一體的自動控制儀器。國產壓力控制儀主要有HY、ZDC、SYK、DL、ZZK等系列產品。表征壓力控制儀的主要技術指標是壓力控制范圍、控制精度、流量控制范圍、反應時間等。它取決于其配用的真空規管、控制電路及真空調節閥的性能。壓力控制儀廣泛應用于離子注入、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術及半導體材料等領域,其使用的環境條件與同類型的真空計大致相同。
               壓力控制儀通常是由壓力給定單元、真空測量單元(真空計)、壓力調節單元、驅動電路及真空調節閥等基本單元組成。它具有手動和自動壓力調節功能。而壓力調節單元和測量單元合為一體,為一單片機系統,其壓力調節功能是利用單片機系統,通過數字PID運算,實現壓力調節。至于驅動電路及真空調節閥,同類型的兩種不同電路結構的壓力拄制儀大致相同。
               壓力控制儀可在手動和自動兩種工況下運行。當開關S打到手動位置時,壓力控制儀相當于一個手動微調真空閥,進行手動壓力調節;當開關S打到自動位置時,壓力控制儀構成一個閉環的自動控制系統,可實現壓力定值自動調節其調節過程是:首先由給定單元設定希望控制的壓力值,根據具體的被控對象的特性,選擇好PID調節單元的比例度艿、積分時間Ti、微分時間Td等參數,當真空測量單元輸出一個表征被控真空裝置真空室壓力高低的電壓信號時,壓力節單元可將壓力設定值與壓力測量值進行比較,并將差值進行運算(例如P、PI、PID);
               從原理上講,一般手動真空調節閥,配上適當的控制電機(如伺服電機、步進電機等)或液壓缸,通過調節控制電機或液壓缸的控制信號,使控制電機或液壓缸動作,從而改變真空閥的流導,于是改變了流過真空閥的氣體流量,完成在真空裝置中真空室的真空度的自動調節。但是,目茼我國真空儀器廠家生產的真空氣體流量調節閥僅有電磁調節式、質量流量計式及壓電式三種,而國產壓力控制儀多選用壓電閥作為真空氣體流量調節元件。
               壓電閥是利用壓電效應制成的一種真空氣體流量調節閥。壓電閥的核心部件是由壓電陶瓷制成的具有壓電特性的膜片。當在壓電陶瓷膜片上施加一控制電壓時,它將會產生正比于外加電壓值大小的變形。同時,帶動密封墊移動。于是壓電閥流導產生變化,從而改變氣體通過壓電閥的流量。當壓電陶瓷膜片上未施加控制電壓時,由于彈簧的機械力作用在壓電陶瓷膜片和密封墊上,使壓電閥氣路關閉。因而,可以通過改變施加在壓電陶瓷膜片上的控制電壓的大小,來改變壓電閥的流導,從而改變流過壓電閥的氣體流量。于是,可實現真空裝置的真空室中的真空度調節。
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