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        光學鍍膜機如何維護

        2020-07-23

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               以前塑料真空鍍膜機,裝飾真空鍍膜機都比較的普遍,很少有了解到了解到光學鍍膜機,總感覺光學鍍膜機高科技技術含量很好,離我們很遙遠,然后現如今光學真空鍍膜機已經被很多行業所應用,也被很多的廠家認可。下面匯成真空小編為大家講解一下光學鍍膜機維修方面的知識。

        光學鍍膜機
               光學鍍膜機主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜(控制電柜、電子槍電柜)組成,其廣泛應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。它的工作原理是在高真空狀態下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度,材料受熱后蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發源至被蒸發基片距離大,蒸發出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。光學鍍膜機維護與保養主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設備的清洗與保養。
         
        一、電子槍安裝與維護
                電子槍蒸發源控制系統是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅動電源、蒸發源等組成一個電子槍控制電柜。電子槍控制電柜內含有高壓,在工作前必須保證柜門各個聯鎖裝置正常工作,非專業人員不得打開電柜門,電子槍在工作時不得打開電柜門,整個電柜必須有良好的接地并與機臺接地連接。電子槍蒸發源安裝在真空室底板上,必須與底板有良好的接地效果,安裝蒸發源必須使用不銹鋼螺絲來固定,周邊200mm以內不得有導磁的物體,否則會影響到電子槍的光斑成表,造成電子性能的不良。電子槍檔板應盡量裝在蒸發源坩堝的中心上30mm處,以不影響電子束的發射為好。電子槍蒸發源是一個精密機械加工體,在工作時必須保證有良好的冷卻水,如過高的溫度會影響電子束的成型及各密封圈的性能。
         
              (一)電子槍頭
               電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進行,其發生的故障有90%同電子槍槍頭有關。電子槍槍頭有使用一段時間后,會因為組件的污染而影響電子束的成型及功率,需要拆卸清潔。
         
              (二)坩堝的維護
               拆坩堝之前,請先關掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內的水分盡可能吹干凈。
         
        蒸發源裝卸順序:
              1.拆落兩條冷卻水連接管。
               2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個螺絲。
               3.拆坩堝傳動連接座、聯軸器。
               4.擰落蒸發源四個固定螺絲。
               5.把蒸發源搬運到一個穩定平整的工作臺。
               6.拆落坩堝蓋板四個螺絲,取下蓋板打磨干凈。
               7.檢查蓋板上面兩個密封圈是否需要更換。
               8.把蒸發源反轉過來倒置,用木板墊住坩堝部分。
               9.擰下固定坩堝轉動四個螺絲
              10.抬起蒸發源,取下坩堝
              11.把坩堝倒置,擰下坩堝底蓋的八個螺絲,清洗干凈里面的污垢,檢查是否需要近密封圈。
              12.擰下導水管的一個螺絲
              13.擰下坩堝轉動機構與坩堝蓋板連接的四個螺絲
              14.撥出坩堝轉動軸,檢查轉動軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過順序來進行。
         
           (三)導磁板及掃描圈的維護
               導磁板及永磁鐵是不需要經常拆卸維護,如需拆卸,請注意永磁鐵的極向,及導磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實,請不要使用硬尖的東西撬動,否則有可能會造成損壞。
         
        二、光路的檢修與維護
               光路調整的先決條件是:確保直流穩定電源、調制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉換放大器、光學膜厚儀及各專用電纜的完好和正確接入。特別是光電轉換放大器、光學膜厚測量儀的接地點,必須單獨歸至主機接點牢固接地。
         
               光學鍍膜機在日常過程中,維護是非常有必要的,當機器運行時間長了,多多少少都會有一些磨損,及時維護,為后期減少了很多的不必要障礙,也能使機器使用時間更長久。
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