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        真空鍍膜機真空鍍膜系統主要構成

        2020-07-26

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               真空鍍膜機已經普及到生活中各行各業,那些絢麗的顏色物件,大部分都是通過鍍膜的方式完成的。隨著近幾年鍍膜行業的發展,更多的廠商意識到了鍍膜質量的重要性,人民的生活水平不斷的提高,對產品外觀需求就更注重。因此,今天匯成小編帶大家認識一下真空鍍膜機鍍膜系統的構成。



        真空鍍膜機


        一、真空室
            涂層設備主要有連續涂層生產線及單室涂層機兩種形式,不銹鋼材料制造、氬弧焊接、表面進行化學拋光處理,真空室組件上焊有各種規格的法蘭接口。
         
        二、真空獲得部分
               在真空技術中,真空獲得部分是重要組成部分。真空的獲得不是一種真空設備和方法所能達到的,必須將幾種泵聯合使用,如機械泵、羅茨泵、分子泵系統等。
         
        三、真空測量部分
               真空系統的真空測量部分,就是要對真空室內的壓強進行測量。像真空泵一樣,沒有一種真空計能測量整個真空范圍,人們于是按不同的原理和要求制成了許多種類的真空計。如熱偶計,電離計,皮拉尼計等等。
         
        四、電源供給部分
               靶電源主要有直流電源、中頻電源、脈沖電源、射頻電源(RF),常見的電源廠商有AE,ADL,霍廷格等
         
        五、工藝氣體輸入系統
              工藝氣體,如氬氣(Ar)、氪氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等,一般均由氣瓶供應,經氣體減壓閥、氣體截止閥、管路、氣體流量計、電磁閥、壓電閥,然后通入真空室。這種氣體輸入系統的優點是,管路簡捷、明快,維修或更換氣瓶容易。各涂層機之間互不影響。也有多臺涂層機共用一組氣瓶的情況,這種情況在一些規模較大的涂層車間可能有機會看到。它的好處是,減少氣瓶占用量,統一規劃、統一布局。缺點是,由于接頭增多,使漏氣機會增加。而且,各涂層機之間會互相干擾,一臺涂層機的管路漏氣,有可能會影響到其他涂層機的產品質量。此外,更換氣瓶時,必須保證所有機臺都處于非用氣狀態。
         
        六、機械傳動部分
               涂層要求周邊必須厚度均勻一致,因此,在涂層過程中須有三個轉動量才能滿足要求。即在要求大工件臺轉動(I)的同時,小的工件承載臺也轉動( II),并且工件本身還能同時自轉(III)。在機械設計上,一般是在大工件轉盤底部中央為一大的主動齒輪,周圍是一些小的星行輪與之嚙合,如果要實現產品自轉的話,一般用撥叉撥動工件自轉。
         
        七、加熱及測溫部分
               涂層設備一般有不同位置的加熱器,用熱電偶測控溫度。但是,由于熱電偶裝夾的位置與工件位置不同,溫度讀數不可能是工件的真實溫度。要想測得工件的真實溫度,有很多方法,可以在工件上裝高溫試紙或熱偶計。
         
        八、離子蒸發及濺射源
               多弧鍍的蒸發源一般為圓餅形,俗稱圓餅靶,也有長方形的多弧靶。靶座中裝有磁鐵,通過前后移動磁鐵,改變磁場強度,可調整弧斑移動速度及軌跡。為了降低靶及靶座的溫度,要給靶座不斷通入冷卻水。為了保證靶與靶座之間的高導電、導熱性,還可以在靶與靶座之間加錫墊片。真空鍍膜機磁控濺射鍍膜一般采用長方形或圓柱形濺射陰極。
         
        九、水冷系統
               一般由冷水塔,冰水機,水泵等組成。
         
        十、工控系統
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