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        真空鍍膜機是由哪些結構組成

        2020-07-29

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              真空鍍膜機是目前制作真空條件應用最為廣泛的設備,目前生活中使用的物品都離不開鍍膜行業,隨著生活水平的提高,自然對鍍膜機鍍出的膜層要求更高,那么大家是否知道,真空鍍膜機是由哪些結構組成的呢。其相關組成及各部件有哪些?下面為大家詳細介紹一下

              第一部分是真空主體——真空腔:根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。


        鍍膜機


              第二部分是輔助抽氣系統:此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成 排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。 排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。  
              機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。 機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用于大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用最廣泛,本文主要介紹)四種類型。  
              電阻真空計(又叫皮喇尼真空計): 它主要由電熱絲、外殼和支架構成,主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導系數與壓強成正比的方式工作的。上面開口處與被測真空系統相連接,熱絲采用電阻溫度系數大的金屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連接。當壓強降低的時候,由于氣體熱傳導散失的熱量減小,因此當熱絲加熱電流穩定時候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強,有以下關系: 略 這就是電阻真空計的工作原理,此真空計的測量范圍是:100-10-1帕之間,目前采用的型號是WP-02 。
         
               磁控放電真空計:  
               工作原理:在放電開始時,由于空間游離電子向陽極運動時,在正交電磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進,又因為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽極,而是穿過陽極,然后受到對面陰極的拒斥,又復返回。這樣反復多次才可能打上陽極。由于電子路程大大加長,故碰撞及電離的分子數增加,使得在較低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。 
               第三部分是蒸發系統 : 蒸發系統主要指成膜裝置部分,鍍膜機器的成膜裝置很多,有電阻加熱、電子槍蒸發、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等多種方式,鄙人就電阻加熱和電子槍蒸發兩種方式作介紹,因為此兩種方式我應用的比較多。  
               第四部分是成膜控制系統 :薄膜監控目前應用方式比較多,主要有:目視監控法,定(極值)值監控、水晶振蕩監控、時間監控等等。本人主要介紹目視監控、定(極值)監控和水晶振蕩監控三種。 
         目視監控也叫直接監控,就是采用眼睛監控,因為薄膜在生長的過程中,由于干涉現象會有顏色變化,我們就是根據顏色變化來控制膜厚度的,此種方式有一定的誤差,所以不是很準確,需要依靠經驗。
               以上是真空鍍膜機大概是有哪些結構組成,希望能幫到大家,也希望能通過這次大概的介紹,大家對真空鍍膜機有一個大概的理解。 
         
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