真空鍍膜設備是目前產品在真空條件下進行鍍膜使用最多的設備，一臺完整的真空鍍膜設備由多部分系統組成，每個系統完成不同功能，實現最終的高品質鍍膜。其組成包括真空腔、真空測試系統、抽真空系統、成膜控制系統、油擴散泵、羅茨泵、冷凝泵、機械泵等。
真空鍍膜設備的主體是真空腔，真空腔的大小由加工產品所決定，其大小可以定制，腔體一般是用不銹鋼材料制作，要求結實耐用不生銹等。真空腔有許多連接閥用來連接各種輔助泵。
抽真空系統采用機械泵+擴散泵+羅茨泵等組成，抽真空系統是鍍膜機真空系統的重要組成部分，真空度的高低直接影響產品的鍍膜效果，真空度由真空測試系統取得數據。
成膜控制系統可以使用不同的方式，如固定鍍制的時間，目測，極值監控，水晶震蕩監控等。鍍膜方式也分多種工藝，常用的有離子蒸發鍍膜和磁控濺射鍍膜。磁控濺射方式鍍制的膜層附著力強，膜層的純度高，可以同事濺射多種不同成分的材料，離子蒸發鍍膜可以提高膜層的致密性和結合力及均勻性。
真空鍍膜設備通常是根據實際的產品工藝需求定制，造價在幾十萬至上千萬。采用人工操作方式的機器設備相對比較便宜，一般在百萬左右，技術含量高可以實現完全自動化的機器設備造價會高幾倍，國內比較知名的企業可以達到半自動化的作業，少數技術強的可以實現完全自動化
