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        磁控濺射真空鍍膜機導致不均有哪些因素

        2020-10-26

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              磁控濺射真空鍍膜機導致不均有哪些因素,磁控濺射真空鍍膜機導致不均的因素主要包括真空狀態、磁場、氬氣這三個方面。磁控濺射真空鍍膜機運作就是通過真空狀態下正交磁場是電子轟擊氬氣形成的氬離子再轟擊靶材,靶材離子沉積于工件表面成膜。


        磁控濺射真空鍍膜機


               真空狀態就需要抽氣系統來進行控制,每個抽氣口都要同時開動并力度一致,這樣就能控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內的壓強就不能均勻了,壓強對離子的運動是存在一定的影響的。另外抽氣的時間也要控制,太短會造成真空度不夠,但太長又浪費資源,不過有真空計的存在,要控制好還是不成問題的。
               磁場是正交運作的,但你要將磁場強度做到百分之一百均勻是不可能的,一般磁場強的地方,成膜厚度就大,相反就小,所以會造成膜層厚度的不一致,不過在生產過程中,由于磁場的不均勻導致的膜層不均勻的情況卻不是常見的,為什么呢?
               原來磁場強弱雖不好進行控制,但同時工件也在同時運轉,且是靶材原子多次沉積此案結束鍍膜工序,在一段時間內雖然某些部位厚,某些部位薄,但另一個時間內,磁場強的作用下在原來薄的部位沉積上厚的,在厚的部位沉積上薄的,如此多次,整個膜層最終成膜后,均勻性還是比較不錯的。
               氬氣的送氣均勻性也會對膜層均勻性產生影響,其原理實際上和真空度差不多,因為氬氣的進入,真空室內壓強會產生變化,均勻的壓強大小可以控制成磁控濺射真空鍍膜機膜厚度的均勻性。
               東莞匯成真空十多年來專業從事各種真空鍍膜應用設備制造,多年來致力于研發和生產真空鍍膜機,以最新技術不斷制造出滿足市場需要的真空電鍍設備,為客戶提供定制化的工藝解決方案和機器。






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