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        真空鍍膜機之真空腔與抽氣系統

        2020-11-20

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              高真空鍍膜機,鍍膜機是目前制作真空條件應用最為廣泛的設備。其相關組成及各部件:機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統.

        下面本人詳細介紹各部分的組成及工作原理。 

               一、真空主體——真空腔 
              根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。 
              二、輔助抽氣系統 
              此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成 
              排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。 
              排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。 
              機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。 
              機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用于大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用最廣泛,本文主要介紹)四種類型。 
              真空鍍膜機機械泵常常被用來抽除干燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除永久性的氣體,但是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子里面但與定子不同心軸,象兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。
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