磁控濺射是一種鍍膜工藝,這種工藝應用到各行各業,非常廣泛。因此很多真空鍍膜機廠家,直接給鍍膜機命名,就以磁控濺射工藝名稱命名。真空鍍膜機應用到光學領域,命名為:光學磁控濺射鍍膜機;應用到卷繞領域,命名為:卷繞磁控濺射鍍膜機,還是連續線磁控濺射鍍膜機,裝飾磁控濺射鍍膜機等等,下面匯成真空小編為大家詳細介紹一下磁控濺射鍍膜機的組成結構,希望能幫助到大家:
磁控濺射真空鍍膜機是現在產品在真空條件下進行鍍膜使用最多的一種設備,一臺完整的磁控濺射真空鍍膜機是由多部分系統組成的,每個系統可以完成不同的功能,從而實現最終的高品質鍍膜,磁控濺射鍍膜其組成包括真空腔、機械泵、真空測試系統、油擴散泵、抽真空系統、冷凝泵以及成膜控制系統等等。
磁控濺射真空鍍膜機的主體是真空腔,真空腔大小是由加工產品所決定,磁控濺射鍍膜的大小能定制,腔體一般是用不銹鋼材料制作,要求結實耐用不生銹等。磁控濺射鍍膜真空腔有許多連接閥用來連接各種輔助泵。
磁控濺射鍍膜成膜控制系統能采用不同方式,比如固定鍍制時間、目測、極致監控以及水晶震蕩監控等。
真空鍍膜機鍍膜方式也分多種工藝,常用的有離子蒸發鍍膜和磁控濺射鍍膜。磁控濺射方式鍍制的膜層附著力強,膜層的純度高,可以同事濺射多種不同成分的材料,離子蒸發鍍膜可以提高膜層的致密性和結合力及均勻性。